实时检测生产线事件

在某些情况下,脉冲上限电离系统会对工艺和工具造成严重的干扰问题。这种干扰通常以大型ESD瞬态脉冲的形式在整个生产区域辐射宽带噪声,导致工具锁定、工艺中断和许多其他问题。脉冲电离系统,最常见的部署在生产区域天花板上的敏感工具和工艺,有时具有讽刺意味的是,会导致重大的静电问题本身。

这些天花板电离系统通过传播大量的交替极性离子到层流气流从天花板到工作表面工作。脉冲电离系统通常部署在电离器和放电目标之间存在相当距离的地方。在最佳条件下,发射点距离天花板足够远,气流线性足够携带这些单极性离子直接到目标工作表面或产品。在这种情况下,不存在任何问题。

生产线控制

如果需要更准确的保证来评估产品的实际风险,那么必须采用一种方法来捕获和评估静电放电事件的发生点和发生时的静电放电事件。这里的理想目标不仅是描述ESD事件的类型(HBM、CDM等),而且还要观察引起ESD事件的活动。这种方法的回报是:

  1. ESD事件的位置和严重程度可以在调查期间进行评估,
  2. 每种情况的具体补救措施都可以在那时确定
  3. 如果需要连续监测特定的生产线位置,可以推荐ESD传感器的基本校准要求。

一个例子的调查

在一个生产血糖监测器的工厂,ESD/EMI调查描述了从自动化板人口到产品组装和检查,再到QA和包装的生产线。一个站点一个站点的评估,包括内部的自动化工具,指出了几个区域的ESD事件发生在关键的点。在产品组装车间,即使技术人员使用了防静电腕带和防静电桌垫,防静电事件仍在发生。将捕捉到的静电放电波形与组装技术人员的具体操作相关联,发现即使从供应商的包装(放在桌面上)中取出塑料盒,也会产生很高的电荷。

电子元件与机箱合并时发生放电事件。此外,还发现安装的架空台式电离器偏离了进行组装的工作区域。它们对去除高电荷罩上的静电没有任何作用。在这个评估过程中,最后发现在这个装配线上处理的两个产品中,只有一个与ESD事件相关。

结论

这种调查方法提供的效率使生产经理能够理解并解决在观察时发现的所有问题。它对ESD程序的有效性给出了立即有用的诊断,并允许对发现的问题进行快速修复。因此,通过购买ESD设备和员工培训的形式对该项目进行了改进,以便进行持续的监测和改进。

这个过程有多复杂?

实际上,ESD/EMI调查过程是相当简短的。一些生产设施可以在一天内有效地评估,这取决于加工线的数量和其他产品处理领域(QA,包装等)。此外,由于调查方法依赖于ESD事件发生时的诊断,因此在正常流程中查看生产过程是很重要的。这意味着生产进度不会中断。

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